1. 要設法得到拋光機較大的拋光速率,以便盡快除去磨光時產生的損傷層。 2. 要使拋光損傷層不會影響終觀察到的組織,即不會造成假組織。 3. 解決這個矛盾的辦法就是把拋光機分為兩個階級進行。 4. 粗拋目的是去除磨光損傷層,具有大的拋光速率。 5. 粗拋形成的表層損傷是次要的考慮,不過也應當盡可能小。 6. 精拋,其目的是去除粗拋產生的表層損傷,使拋光損傷減到小。
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